半导体领域的“光刻机”和“刻蚀机”的用处和区别是什么

来源:360问答 发布时间:2019-05-20 19:57

如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。

光刻机用来成像,蚀刻机用来成形。他们是前后两道工序。和做电路板有点类似。
光刻机精度高,刻蚀机精度低.


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