“光刻机”和“刻蚀机”的区别

来源:互联网企业网站、知乎问答 发布时间:2019-09-03 13:30

如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。

光刻机用来成像,蚀刻机用来成形。他们是前后两道工序。和做电路板有点类似。
光刻机精度高,刻蚀机精度低。

知乎网友:龙城--光刻技术,重头戏是物理技术,光刻的前道工序如涂胶,后道如显影,都是化学技术,对机器要求不算高。唯独曝光工序才是最难的,其中最难又在于光刻机,也就是一只巨型单反相机,其光源和镜头,还有控制技术估计已经是人类的极限了,巨难做。刻蚀说得形象点就是沿着曝光图形刻槽,化学成分比较大,并不算十分关键的设备,中国的刻蚀机技术还是很不错的。


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